高纯甲烷的用途和作用_陕西裕隆气体公司

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来源：www.gcqt.net | 发布时间：2023年06月16日

高纯甲烷的用途和作用主要包括以下几个方面：

1，作为标准气、矫正气使用，用于仪器仪表、催化剂评价方面，用在工业检测（包括冶金、化工、石油、原子能、航空等行业）与科研领域，还可以配置特种混合气。

2，应用在半导体、电子、太阳能电池产业中，用来制备非晶硅、晶体管、传感器等产品。

3，随着科技进步，电子、光伏等产业发展迅速，高纯甲烷在干法蚀刻、等离子蚀刻、化学气相沉积等工艺中应用越来越广泛，可用来制备半导体材料、微电子器件、光电子器件等。

高纯甲烷按照应用领域的不同，可以分为化学级高纯甲烷和电子级高纯甲烷。随着科技的发展，高纯甲烷的应用领域还在不断扩大。

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